Болотов, М. Г.
(Чернігів: ЧНТУ, 2016)
Наведено результати застосування методів математичного планування експерименту з метою визначення найбільш впливових на процеси формування та росту металевого тонкоплівкового покриття параметрів режиму осадження у тліючому ...