Олексієнко, С. В.; Куликовский, Р. А.
(2009)
В статті досліджено особливості виготовлення вузлів кремнієвих ємнісних датчиків тиску. Розроблено технологію виготовлення багатошарових вузлів типу кремній-скло-кремній за один цикл зварювання, що забезпечує досягнення ...