Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://ir.stu.cn.ua/123456789/27383
Назва: | Магнетронне нанесення нанокомпозитних покриттів nc-TiC/a-C та CNx |
Автори: | Волос, С. О. |
Дата публікації: | 2022 |
Видавництво: | Чернігів : НУ "Чернігівська політехніка" |
Короткий огляд (реферат): | Однією з поточних задач інженерії поверхні є розробка технологій осаджування нанокомпозитних покриттів з різними робочими характеристиками. Для осаджування TiC/C і CNx використовували систему з двох магнітних розпилювальних пристроїв з графітовою та титановою мішенями. Проведені дослідження умов отримання покриття TiC/C з регульованим вмістом вуглецю, який змінюється від 42 до 70 ат. %. Показано, що при вмісті вуглецю в межах 42-54 ат. % покриття складається з нанорозмірних кристалів TiC, впроваджених в аморфну матрицю вуглецю. Розмір зерна TiC зменшується від 5,3 -10,2 до 2,9-4,3 нм із збільшенням вмісту вуглецю в покритті від 42 до 54 ат. %. |
Опис: | Волос, О. В. Магнетронне нанесення нанокомпозитних покриттів nc-TiC/a-C та CNx / О. В. Волос // Комплексне забезпечення якості технологічних процесів та систем (КЗЯТПС – 2022) : тези доповідей XІІ Міжнародної науково-практичної конференції (м. Чернігів, 26–27 травня 2022 р.) : у 2 т. Т. 2. – Чернігів : НУ «Чернігівська політехніка», 2022. – С. 49-50. |
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://ir.stu.cn.ua/123456789/27383 |
Розташовується у зібраннях: | Тези доповідей XІІ Міжнародної науково-практичної конференції (м. Чернігів, 26-27 травня 2022 року) |
Файли цього матеріалу:
Файл | Опис | Розмір | Формат | |
---|---|---|---|---|
Tezy - 2022 Part 5-49.pdf | наукова доповідь | 428,16 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.