DSpace JSPUI
DSpace зберігає і дозволяє легкий і відкритий доступ до всіх видів цифрового контенту, включаючи текст, зображення, анімовані зображення, MPEG і набори даних
Дізнатися більше
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://ir.stu.cn.ua/123456789/30134| Назва: | Вплив технологічних чинників на якість приладових структур |
| Інші назви: | The influence of technological factors on quality of instrument structures |
| Автори: | Небеснюк, О. Ніконова, А. Алексієвський, Д. Ніконова, З. |
| Ключові слова: | epitaxial compositions semiconductor devices dislocation-free silicon defects annealing plate епітаксійні композиції напівпровідникові прилади бездислокаційний кремній дефекти відпал пластина |
| Дата публікації: | 2024 |
| Видавництво: | Чернігів : НУ "Чернігівська політехніка" |
| Серія/номер: | Технічні науки та технології;№ 1 (35) |
| Короткий огляд (реферат): | Застосування методу інтерферометрії дало можливість суттєво доповнити та уточнити інформацію про морфологію, характер дефектів нарощених шарів епітаксійних композицій (ЕК), виявлених методами вибіркового травлення за допомогою металографічного мікроскопа. Порівняльним дослідженням ступеня дефектності пластин після кожного з етапів їх виготовлення встановлено, при яких операціях технологічного процесу утворюються конкретні види дефектів. Запропоновано методику отримання якісних напівпровідникових приладів та інтегральних схем на основі різних видів ЕК з високим питомим опором робочого шару. |
| Опис: | Вплив технологічних чинників на якість приладових структур / О. Небеснюк, А. Ніконова, Д. Алексієвський, З. Ніконова // Технічні науки та технології. - 2024. - № 1 (35). - С. 75-80. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | https://ir.stu.cn.ua/123456789/30134 |
| Розташовується у зібраннях: | Технічні науки та технології. – 2024. – №1 (35) |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 7. Небеснюк.pdf | стаття | 237,29 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.