Дослідження фізичних характеристик діелектричних поверхонь за допомогою діагностичного стенда на базі атомно-силового мікроскопа

Abstract

Розглянуто актуальне завдання розроблення методичного забезпечення для визначення механічних характеристик діелектричних матеріалів у нанометровому діапазоні. Для комплексного дослідження пружних сил, капілярних сил та визначення залишкового трибозаряду пропонується використання діагностичного стенда, який створено на базі атомно-силового мікроскопа. Розроблена та описана в роботі блок-схема стенда та схема автоматизації технологічного процесу дозволяє усунути негативні зовнішні впливи на процес діагностування з боку оператора. За результатами дослідження матеріалів, які знайшли широке використання у галузі точного приладобудування (на прикладі кремнію Кр0, оптичного скла К8 та п’єзоелектричної кераміки ЦТС-19) встановлено похибку визначення їх механічних характеристик, яка не перевищує 7,5 %.