Небеснюк, О.; Ніконова, А.; Алексієвський, Д.; Ніконова, З.
(Чернігів : НУ "Чернігівська політехніка", 2024)
Застосування методу інтерферометрії дало можливість суттєво доповнити та уточнити інформацію про морфологію, характер дефектів нарощених шарів епітаксійних композицій (ЕК), виявлених методами вибіркового травлення за ...