Полірування напівпровідникових матеріалів для оптотехніки
Вантажиться...
Дата
Автори
Філатов, Ю. Д.
Бояринцев, А. Ю.
Сідорко, В. І.
Ковальов, С. В.
Ковальов, В. А.
Юрчишин, О. Я.
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НУ «Чернігівська політехніка»
Анотація
Метою даного дослідження є вивчення закономірностей впливу фізико-хімічних властивостей оброблюваного матеріалу та дисперсної системи на показники полірування напівпровідникових матеріалів
Опис
Полірування напівпровідникових матеріалів для оптотехніки / Ю. Д. Філатов, А. Ю. Бояринцев, В. І. Сідорко, С. В. Ковальов, В. А. Ковальов, О. Я. Юрчишин // Комплексне забезпечення якості технологічних процесів та систем (КЗЯТПС – 2024) тези доповідей XІV Міжнарод. наук.-практ. конф. (м. Чернігів, 23-24 травня 2024 р.) : у 2 т. – Чернігів : НУ «Чернігівська політехніка», 2024. – Т. 1. – С. 84-85.