Показати скорочений опис матеріалу
dc.contributor.author | Бондаренко, М.О. | |
dc.contributor.author | Мельник, І. В. | |
dc.contributor.author | Хандюк, М. В. | |
dc.contributor.author | Бондаренко, Ю.Ю. | |
dc.date.accessioned | 2021-02-22T08:13:49Z | |
dc.date.available | 2021-02-22T08:13:49Z | |
dc.date.issued | 2018 | |
dc.identifier.uri | http://ir.stu.cn.ua/123456789/21309 | |
dc.description | Бондаренко, М. О. Підвищення зносостійкості прецизійних деталей мікропристроїв / М. О. Бондаренко, І. В. Мельник, М. В. Хандюк, Ю. Ю. Бондаренко // Комплексне забезпечення якості технологічних процесів та систем (КЗЯТПС – 2018) : матеріали тез доп. VІІІ Міжнар. наук.- практ. конф. (м. Чернігів, 10-12 трав. 2018 р.) : у 2-х т. – Чернігів : ЧНТУ, 2018. – Т. 1. – С. 69-70. | en_US |
dc.description.abstract | Методом склерометрії із залученням атомно-силового мікроскопу встановлено, що зносостійкість трьохшарового оксидного покриття після електронно-променевої модифікації збільшується у 1,3…1,5 разів в порівнянні з покриттям не модифікованим електронним потоком та у 1,1…1,25 разів в порівнянні з вихідним матеріалом (кремній Кр0), що доводить перспективність комбінованої технології нанесення багатошарових оксидних покриттів нанометричних розмірів у вакуумі для підвищення зносостійкості прецизійних деталей мікропристроїв. | en_US |
dc.language.iso | uk | en_US |
dc.publisher | ЧНТУ | en_US |
dc.subject | зносостійкі прецизійні деталі | en_US |
dc.subject | мікропристрої | en_US |
dc.title | Підвищення зносостійкості прецизійних деталей мікропристроїв | en_US |
dc.type | Working Paper | en_US |