Підвищення зносостійкості прецизійних деталей мікропристроїв

Хандюк, М. В.; Бондаренко, М.О.; Мельник, І. В.; Бондаренко, Ю.Ю.

dc.contributor.author	Бондаренко, М.О.
dc.contributor.author	Мельник, І. В.
dc.contributor.author	Хандюк, М. В.
dc.contributor.author	Бондаренко, Ю.Ю.
dc.date.accessioned	2021-02-22T08:13:49Z
dc.date.available	2021-02-22T08:13:49Z
dc.date.issued	2018
dc.identifier.uri	http://ir.stu.cn.ua/123456789/21309
dc.description	Бондаренко, М. О. Підвищення зносостійкості прецизійних деталей мікропристроїв / М. О. Бондаренко, І. В. Мельник, М. В. Хандюк, Ю. Ю. Бондаренко // Комплексне забезпечення якості технологічних процесів та систем (КЗЯТПС – 2018) : матеріали тез доп. VІІІ Міжнар. наук.- практ. конф. (м. Чернігів, 10-12 трав. 2018 р.) : у 2-х т. – Чернігів : ЧНТУ, 2018. – Т. 1. – С. 69-70.	en_US
dc.description.abstract	Методом склерометрії із залученням атомно-силового мікроскопу встановлено, що зносостійкість трьохшарового оксидного покриття після електронно-променевої модифікації збільшується у 1,3…1,5 разів в порівнянні з покриттям не модифікованим електронним потоком та у 1,1…1,25 разів в порівнянні з вихідним матеріалом (кремній Кр0), що доводить перспективність комбінованої технології нанесення багатошарових оксидних покриттів нанометричних розмірів у вакуумі для підвищення зносостійкості прецизійних деталей мікропристроїв.	en_US
dc.language.iso	uk	en_US
dc.publisher	ЧНТУ	en_US
dc.subject	зносостійкі прецизійні деталі	en_US
dc.subject	мікропристрої	en_US
dc.title	Підвищення зносостійкості прецизійних деталей мікропристроїв	en_US
dc.type	Working Paper	en_US