Технологія тонких плівок : методичні вказівки до виконання лабораторних робіт для здобувачів вищої освіти за спеціальністю 131 «Технічна механіка», освітньо-науковою програмою "Технології та устаткування зварювання"

Abstract

Мета методичних вказівок – допомогти студентам закріпити та поповнити теоретичні знання практичними дослідженнями сучасних технічних засобів та технологічних процесів отримання тонких металевих плівок на поверхні металів та неметалів, способів підготовки поверхонь до нанесення плівок, визначення адгезії плівок до поверхні. Кожна лабораторна робота має розділи, які стосуються змісту досліджень, що проводяться, та порядок виконання роботи. Представлений цикл робіт охоплює основні способи отримання тонких плівок нанесенням їх у вакуумі або розрідженому газовому середовищі із застосуванням різних фізичних та електрофізичних процесів, що дає змогу порівнювати їх технічні та технологічні характеристики.