Короткий опис(реферат):
В якості джерела іонізованої плазми використовували тліючий розряд, що горить в
порожнистому катоді. Реалізовували діодну плазмоіонну схему розряду при якій напруга
прикладалася між порожнистим катодом (матеріалом майбутньої плівки) та анодом
В якості мішені використовували мідний циліндр, виконаний у формі чаші та мідний
кільцевий анод, розміщений на відстані 40 мм від катоду. Між електродами на ізольованому
від камери тримачі розміщували скляну підложку (субстрат) розмірами 60×30 мм.
Суть розробки, основні результати:
Чабан, Є. Є.Осадження тонких металевих плівок в тліючому розряді із порожнистим катодом / Є. Є Чабан ; наук. керівник М. Г. Болотов // Новітні технології сучасного суспільства (НТСС-2021) : ІІ Міжнародна науково-практична конференція (м. Чернігів, 17 грудня 2021 р.) : тези доповідей : у 2 ч. Ч. I. – Чернігів : НУ «Чернігівська політехніка», 2021. – С. 200-202.
