dc.contributor.author |
Волос, С. О.
|
|
dc.date.accessioned |
2023-04-24T12:21:10Z |
|
dc.date.available |
2023-04-24T12:21:10Z |
|
dc.date.issued |
2022 |
|
dc.identifier.uri |
http://ir.stu.cn.ua/123456789/27383 |
|
dc.description |
Волос, О. В. Магнетронне нанесення нанокомпозитних покриттів nc-TiC/a-C та CNx / О. В. Волос // Комплексне забезпечення якості технологічних процесів та систем (КЗЯТПС – 2022) : тези доповідей XІІ Міжнародної науково-практичної конференції (м. Чернігів, 26–27 травня 2022 р.) : у 2 т. Т. 2. – Чернігів : НУ «Чернігівська політехніка», 2022. – С. 49-50. |
uk_UA |
dc.description.abstract |
Однією з поточних задач інженерії поверхні є розробка технологій осаджування нанокомпозитних покриттів з різними робочими характеристиками. Для осаджування TiC/C і CNx використовували систему з двох магнітних розпилювальних пристроїв з графітовою та титановою мішенями. Проведені дослідження умов отримання покриття TiC/C з регульованим вмістом вуглецю, який змінюється від 42 до 70 ат. %. Показано, що при вмісті вуглецю в межах 42-54 ат. % покриття складається з нанорозмірних кристалів TiC, впроваджених в аморфну матрицю вуглецю. Розмір зерна TiC зменшується від 5,3 -10,2 до 2,9-4,3 нм із збільшенням вмісту вуглецю в покритті від 42 до 54 ат. %. |
uk_UA |
dc.language.iso |
uk |
uk_UA |
dc.publisher |
Чернігів : НУ "Чернігівська політехніка" |
uk_UA |
dc.title |
Магнетронне нанесення нанокомпозитних покриттів nc-TiC/a-C та CNx |
uk_UA |
dc.type |
Working Paper |
uk_UA |