Магнетронне нанесення нанокомпозитних покриттів nc-TiC/a-C та CNx

Волос, С. О.

dc.contributor.author	Волос, С. О.
dc.date.accessioned	2023-04-24T12:21:10Z
dc.date.available	2023-04-24T12:21:10Z
dc.date.issued	2022
dc.identifier.uri	http://ir.stu.cn.ua/123456789/27383
dc.description	Волос, О. В. Магнетронне нанесення нанокомпозитних покриттів nc-TiC/a-C та CNx / О. В. Волос // Комплексне забезпечення якості технологічних процесів та систем (КЗЯТПС – 2022) : тези доповідей XІІ Міжнародної науково-практичної конференції (м. Чернігів, 26–27 травня 2022 р.) : у 2 т. Т. 2. – Чернігів : НУ «Чернігівська політехніка», 2022. – С. 49-50.	uk_UA
dc.description.abstract	Однією з поточних задач інженерії поверхні є розробка технологій осаджування нанокомпозитних покриттів з різними робочими характеристиками. Для осаджування TiC/C і CNx використовували систему з двох магнітних розпилювальних пристроїв з графітовою та титановою мішенями. Проведені дослідження умов отримання покриття TiC/C з регульованим вмістом вуглецю, який змінюється від 42 до 70 ат. %. Показано, що при вмісті вуглецю в межах 42-54 ат. % покриття складається з нанорозмірних кристалів TiC, впроваджених в аморфну матрицю вуглецю. Розмір зерна TiC зменшується від 5,3 -10,2 до 2,9-4,3 нм із збільшенням вмісту вуглецю в покритті від 42 до 54 ат. %.	uk_UA
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Чернігів : НУ "Чернігівська політехніка"	uk_UA
dc.title	Магнетронне нанесення нанокомпозитних покриттів nc-TiC/a-C та CNx	uk_UA
dc.type	Working Paper	uk_UA