IRChNUT
Електронний архів Національного університету "Чернігівська політехніка"

Оптимізація процесу осадження тонких металевих плівок у тліючому розряді з порожнистим катодом

ISSN 2415-363X

Оптимізація процесу осадження тонких металевих плівок у тліючому розряді з порожнистим катодом

Болотов, М. Г.
URI: http://ir.stu.cn.ua/123456789/13356
Дата: 2016

Короткий опис(реферат):

Наведено результати застосування методів математичного планування експерименту з метою визначення найбільш впливових на процеси формування та росту металевого тонкоплівкового покриття параметрів режиму осадження у тліючому розряді з порожнистим катодом. У результаті роботи отримано регресійну математичну модель, яка дозволяє отримати результати з 4…6 % похибкою відносно експериментальних.

Суть розробки, основні результати:

Болотов, М. Г. Оптимізація процесу осадження тонких металевих плівок у тліючому розряді з порожнистим катодом / М. Г. Болотов // Технічні науки та технології. – 2016. – № 3 (5). – C. 104-112.

Показати повний опис матеріалу

Долучені файли

Icon
Name: 178.pdf
Розмір: 514.4Kb
Формат: PDF
Опис файла: стаття
Переглянути

Даний матеріал зустрічається у наступних розділах