Оптимізація процесу осадження тонких металевих плівок у тліючому розряді з порожнистим катодом

Abstract

Наведено результати застосування методів математичного планування експерименту з метою визначення найбільш впливових на процеси формування та росту металевого тонкоплівкового покриття параметрів режиму осадження у тліючому розряді з порожнистим катодом. У результаті роботи отримано регресійну математичну модель, яка дозволяє отримати результати з 4…6 % похибкою відносно експериментальних.