Короткий опис(реферат):
Тонкі металеві плівки знаходять широке застосування в різних галузях сучасної
промисловості. Найбільшого розповсюдження тонкоплівкові елементи отримали,
насамперед, в технологічних процесах електроніки при виготовленні, наприклад,
напівпровідникових приладів, в лазерній та нелінійній оптиці для надання поляризаційних, просвітлюючих або ж дзеркальних властивостей оптичним елементам, в механіці для отримання функціональних антикорозійних, зносостійких покриттів, тощо. Проблема отримання структур у вигляді тонких металевих плівок є чи не найактуальнішою в мікроелектроніці при виготовленні інтегральних схем.
Суть розробки, основні результати:
Болотов, Г. П. Застосування газорозрядної плазми тліючого розряду в процесах отримання тонкоплівкових металопокриттів / Г. П. Болотов, М. Г. Болотов, І. О. Прибитько, М. В. Бадай // Комплексне забезпечення якості технологічних процесів та систем (КЗЯТПС – 2018) : матеріали тез доповідей VІІІ міжнар. наук.- практ. конференції (м. Чернігів , 10–12 травня 2018 р.) : у 2-х т.– Чернігів : ЧНТУ, 2018. – Т. 2. – С. 85.