Застосування газорозрядної плазми тліючого розряду в процесах отримання тонкоплівкових металопокриттів

Abstract

Тонкі металеві плівки знаходять широке застосування в різних галузях сучасної промисловості. Найбільшого розповсюдження тонкоплівкові елементи отримали, насамперед, в технологічних процесах електроніки при виготовленні, наприклад, напівпровідникових приладів, в лазерній та нелінійній оптиці для надання поляризаційних, просвітлюючих або ж дзеркальних властивостей оптичним елементам, в механіці для отримання функціональних антикорозійних, зносостійких покриттів, тощо. Проблема отримання структур у вигляді тонких металевих плівок є чи не найактуальнішою в мікроелектроніці при виготовленні інтегральних схем.