Abstract:
Підвищення ефективності виробництва і якості виробів, розвиток електронної техніки і біомедичних приладів, а також створення нових наноструктурованих матеріалів з особливими властивостями в значній мірі визначаються точністю та прецизійністю метрологічного забезпечення. Особливої уваги заслуговує проблема вимірювання параметрів рельєфу нанооб’єктів, оскільки, спираючись на попередні дослідження вітчизняних та закордонних вчених в цій галузі, можна стверджувати, що досі не існує універсальної методики, яка б враховувала всі зовнішні дестабілізуючі фактори та специфічні властивості наноматеріалів. Оскільки властивості певних наноматеріалів відмінні від звичайних, вплив дестабілізуючих факторів на результати вимірювання може бути абсолютно непередбачуваним.
Description:
Катаєва, М. О. Розробка методу вимірювання параметрів рельєфу нанооб’єктів / М. О. Катаєва, П. Л. Ігнатенко // Комплексне забезпечення якості технологічних процесів та систем (КЗЯТПС – 2022) : тези доповідей XІІ Міжнародної науково-практичної конференції (м. Чернігів, 26–27 травня 2022 р.) : у 2 т. Т. 2. – Чернігів : НУ «Чернігівська політехніка», 2022. – С. 223
