Abstract:
Методом склерометрії із залученням атомно-силового мікроскопу встановлено, що
зносостійкість трьохшарового оксидного покриття після електронно-променевої
модифікації збільшується у 1,3…1,5 разів в порівнянні з покриттям не модифікованим
електронним потоком та у 1,1…1,25 разів в порівнянні з вихідним матеріалом (кремній
Кр0), що доводить перспективність комбінованої технології нанесення багатошарових
оксидних покриттів нанометричних розмірів у вакуумі для підвищення зносостійкості
прецизійних деталей мікропристроїв.
Description:
Бондаренко, М. О. Підвищення зносостійкості прецизійних деталей мікропристроїв / М. О. Бондаренко, І. В. Мельник, М. В. Хандюк, Ю. Ю. Бондаренко // Комплексне забезпечення якості технологічних процесів та систем (КЗЯТПС – 2018) : матеріали тез доп. VІІІ Міжнар. наук.- практ. конф. (м. Чернігів, 10-12 трав. 2018 р.) : у 2-х т. – Чернігів : ЧНТУ, 2018. – Т. 1. – С. 69-70.